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天籌自動(dòng)化
DCP系列壓力式MFC借助于壓力傳感器超高速的響應(yīng)靈敏性,分設(shè)兩顆測量層流元件兩端的壓差,可在寬泛的動(dòng)態(tài)流量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了高靈敏度的流量測量。
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